半導体・FPD・フィルム等の多様な膜厚計測に対応してます。 膜厚の他に反射率(透過率)・物体色や経時変化も同時に測定が可能です。

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• ・センサーは、高精度・高信頼・高速度の浜松ホトニクス（株）製を中心にラインアップ
• ・薄膜をリアルタイム計測／多層膜の解析が可能
• ・反射率・透過率スペクトルが可能／膜厚測定と同時に時間変化の測定が可能
• ・物体色・経時変化の測定が可能／３刺激のＹ、色度ｘ，ｙの測定が可能
• ・リファレンスフリー、長時間安定計測を実現
• ・最大１５ポイントの膜厚を同時計測（ 機種別対応 ）
• ・多層膜対応、最大１０層同時測定可能（ 機種別対応 ）
• ・高さ変動への影響が小さい・変動に強い《設備振動（ ワークの揺れ ）の影響を受けにくい》
• ・外部トリガによる計測が可能
• ・解析：ＦＦＴ解析、カーブフィッティング解析
• ・データー解析画面、レシピ設定画面を準備
• ・インライン化システム構築：お客様の設備状況に合わせて、システム全体の設計・制作を致します。